真空泵的分類分析

真空系統(tǒng)是用來(lái)獲得真空環(huán)境的系統(tǒng)。它是半導(dǎo)體、科學(xué)儀器、化學(xué)工業(yè)和制藥工業(yè)中的一個(gè)重要子系統(tǒng)。它被廣泛使用。它是真空系統(tǒng)的重要組成部分。它是一種用于產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境的裝置。廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、化工、食品、電子等下游行業(yè)。

根據(jù)不同的真空要求和應(yīng)用領(lǐng)域，一般真空泵應(yīng)用可分為8類，包括粗真空、工藝真空、工業(yè)真空、半導(dǎo)體、薄膜沉積、太陽(yáng)能、儀器制造和科學(xué)研究。

相應(yīng)的產(chǎn)品也不同。高/超真空對(duì)應(yīng)低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴(kuò)散泵等；介質(zhì)真空主要對(duì)應(yīng)干式泵、兩級(jí)旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、蒸汽噴射泵；粗/低真空對(duì)應(yīng)于單級(jí)旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵和往復(fù)式真空泵。目前，半導(dǎo)體領(lǐng)域是真空設(shè)備應(yīng)用規(guī)模最大的下游市場(chǎng)，占總市場(chǎng)規(guī)模的38%。

根據(jù)真空泵的工作原理，一般可分為兩種基本類型：輸氣泵和捕集泵。輸氣泵主要通過(guò)連續(xù)吸排氣體來(lái)達(dá)到泵送的目的。氣體捕獲泵通過(guò)在泵的內(nèi)表面吸附或冷凝氣體分子來(lái)達(dá)到泵送的目的，從而減少容器中氣體分子的數(shù)量。

工業(yè)應(yīng)用中常用的真空泵包括水環(huán)式真空泵、旋葉式真空泵、羅茨真空泵等，但在高端產(chǎn)品領(lǐng)域，進(jìn)口泵在市場(chǎng)上仍然比較受歡迎，主要原因是國(guó)產(chǎn)泵在壓縮比方面仍有一定的劣勢(shì)，主要是因?yàn)橛糜趪?guó)外泵的合金比國(guó)產(chǎn)鑄件更穩(wěn)定，熱膨脹和冷收縮更小，所以內(nèi)部間隙可以更精確。